双飞 姐妹花 “909工程”和华虹集团
“909工程”技俩布景双飞 姐妹花
“909工程”是我国电子工业“九五”期间(1996~200)最大的集成电路技俩,投资预算近百亿,高出了开国以来国度对电子工业投资规模的总额。
“909工程”是国度磋商力量办大事的典型技俩,技俩建造由电子工业部和上海市的主要指点径直负责,代表了国度发展集成电路产业的决心。
为什么要建造“909工程”?为了减轻中国集成电路产业与国外的差距。
1995年中国的集成电路产量4.6亿块,在寰球产量的市集份额不到1%,只可高兴国内五分之一的需求。国内尚未建成一条8英寸坐褥线,坐褥工艺水平只达到1.2 微米,1微米以下的坐褥线尚未投产。
与此同期,国外照旧投产了上百条8英寸坐褥线,伊始进的制造工艺水平照旧达到0.3微米以下,中国集成电路产业与国外先进水平的差距被越拉越大。
集成电路产业是一个资金和期间高度密集的产业,在1995年一条8英寸坐褥线的总投资需要10亿好意思元,一条12英寸坐褥线的总投资更是高达14~16 亿好意思元。
集成电路坐褥线不仅投资规模广漠,而且可贵老本极高,每年的运行可贵、引诱更新与新期间开发等老本占总投资的20%把握。
更辣手的是集成电路产业期间迭代速率极快,集成电路居品两三年把握就会更新换代,若是无法跟上产业的发展速率将被径直淘汰,市集竞争极其浓烈。
在这么的条目下,中国集成电路产业要追逐西方先进水平十分不易。也恰是在这种布景下,为减轻与国外先进水平的差距,电子工业部向中央提倡了建造“909工程”的建议,并在总理办公会议上得回批准。
为了吸取“908工程”有规划时刻过长的教会,中央指点批准“909工程”特事特办,由电子工工业部和上海市的主要指点径直担任工程的主要负责东说念主。
党中央和国务院下定决心搞“909”,方针等于为了在高技术基础产业方面追逐寰球先进水平。
“909工程”期间引进谈判
“909工程”是典型的先上车后买票技俩,即先筹办再落实。
“909工程”规划建造一条8英寸坐褥线,坐褥工艺水平达到0.5微米。谈判到中国集成电路产业的期间基础,建造这么一条先进的坐褥线在期间势必需要依靠番邦合营企业。
1995年12月13日,“909工程”的建议在国务院总理办公会议上得回通过,1996年3月29日国度计委精致批复“909”技俩立项。
1996年11月27日,上海华虹微电子有限公司超大规模集成电路芯片坐褥线奠基庆典渊博举行,它标明在党中央的径直珍重下,在各干系方面的鼎力复古下,“909”工程坐褥线技俩照旧启动,但此时的期间合营伙伴还竣工莫得坚信。
“909工程”引进期间的谈判十分不易,根源在于咱们的盘算和番邦公司的推行利益存在广漠的破碎。
本身提倡的合营条目主要有三个方面:
第一,合营伙伴需要转让先进的集成电路制造期间:8英寸坐褥线,0.5微米工艺。
第二,合营伙伴必须以现款神志入股并参与到结伙公司的筹办中,共同承担风险。
第三,合营伙伴必须承诺三分之一的返销加工量,还要负责培训期间和贬责东说念主员。
前边两个条目齐还容易相识,第三个条目就有点强东说念主所难了,为什么?
本身第三个条目的潜台词是合营伙伴必须保证结伙工场的开工率,本体上等于要对方保证这个技俩投资的安全性。
集成电路产业投资规模广漠,居品老本结构中最大的部分是引诱折旧,保证了开工水平事实上就很猛进程上保证了盈利水平。
然则本体上外商只称心一手交钱一手交货,把照旧不再先进的期间转让给咱们,他们不念念承担一丁点风险。
1996 年3月以后,电子工业部陆续向日本富士通、东芝、NEC、冲电气(OKI)公司,欧洲的西门子、飞利浦公司,好意思国的Intel、IBM、AMD、惠普、德州仪器、Rockwell等公司发出了参与“909”建造的精致邀请,但是这些公司普遍反馈冷淡,八成提倡了许多附加条目。
若是咱们站在外方的角度很容易相识,跟中国合营这个技俩赚不到若干钱,还有那么多事,谁称心来?
举例“909”工程刚运转的时候,某跨国公司提倡的期间转让费及专利保护费报价高达4.4亿好意思元,且不肯意入股或对市集作念出任何承诺——这其实才是大多数番邦公司的气派。
谈判进行到1997年3月,咱们和各家公司在期间转让费、入股、市集返销量等方面仍然存在差距,谈判莫得任何限定。
此时距离工程奠基庆典照旧昔时四个多月了。
“909工程”向近20家国际半导体企业发出了参与的邀请,与其中的5家进行了深远的多轮谈判,最终与出现最晚的NEC达成了合营。
NEC(日本电气株式会社)是其时寰球上第二泰半导体公司,NEC此前照旧在北京和首钢结伙建造了一座6英寸芯片工场——首钢NEC。
NEC会长关本忠弘是一个着实代表日本和NEC利益的有政事头脑和计策眼光的企业家,他从NEC在中国发展的长久计策盘算开赴,决定参与“909工程”。
NEC最终不仅称心现款参股,而且转让的工艺水平(0.35微米)超出了咱们的引进盘算,最热切的是NEC 原意保证“909”坐褥线满负荷运转,居品除中方要求加工的外,均由NEC负责返销。
1997年5月28日,上海华虹NEC电子有限公司结伙合同署名庆典在东说念主民大礼堂举行,李鹏总理、邹家华副总理出席署名庆典,两边只用了三个月的时刻,就谈成了一个近百亿元的技俩。
“909”工程的建造和投产过程
“909工程”的有规划后不久,国际半导体市集存储器价钱运转从1995年11月的高位上一起着落,寰球半导体市集再度参加着落周期。
阶段性的产能多余是导致半导体价钱下滑的主要原因之一,一时刻寰球各泰半导体公司的芯片制造厂家纷繁延缓了新厂的建造速率致使干脆停工,老厂也运转限产。
“909工程”是停工如故链接,这成为了华虹贬责层濒临的第一个西席。基于对半导体市集波动律例的意志,华虹贬责层决定加速坐褥线的建造,是其时寰球上唯独加速建造的芯片工场。
1997年7月31日,华虹NEC工场建造开工;
1998年11月,工艺引诱运转安设。
1999年 2月23日,64M存储芯片运转试投片。
华虹NEC仅用了18个月的时刻建成了“909”工程8英寸超大规模集成电路坐褥线,比可行性证实轨则的建成时刻整整提前了7个月。
华虹NEC的投产意味着中国有了本身的第一条深亚微米超大规模集成电路坐褥线,中国的半导体制造期间从过时国际水平10~15年而一跃赶上国际主活水平,中国把国际半导体俱乐部的入场券紧紧地抓在了手中。
1999年,华虹NEC坐褥线达到第一阶段产能盘算5000片/月,良品率达到94%。
2000年,华虹NEC达到了2万片/月的坐褥才略,全年竣事销售收入17.73亿元,竣事利润3.44亿元。
“909工程”起头是按照月产2万片、8英寸0.5微米芯片坐褥线通用厂房的圭臬假想建造的,在和NEC订立结伙契约之后凭据NEC的见地扩大了净化车间面积,使厂房具备月产4万片的后劲。
华虹NEC依靠自身的积攒,坐褥规模在2004年扩大到4万片/月,2005进一步增多到5万片/月,芯片假想业务规模与期间稳居国内前方。
“909工程”原规划引进的是0.5微米的坐褥工艺,但NEC本体提供的是0.35微米的工艺,投产的居品是其时国际主流的0.35微米64M存储芯片。
2000年华虹NEC再度与NEC订立了期间引进合同,内容为128兆存储器工艺和0.24微米逻辑工艺期间,以及相应的假想期间。
在NEC的复古下,华虹NEC在产能还莫得达到2万片的时候,“909”的期间照旧晋升了两级。
“909”工程上海华虹 NEC电子有限公司芯片坐褥线是我国第一条8英寸芯片坐褥线,它的建成投产使我国扫尾了莫得8英寸芯片坐褥线的历史,同期坐褥期间也提高到 0.25~0.18 微米的国际主活水平。
华虹NEC投产当年就盈利的筹办实绩,充分证实了“909”工程坐褥线照旧初步具备了自主发展、良性轮回的才略。
华虹NEC从DRAM坐褥企业转为芯片代工企业
诚然华虹NEC顺利建成投产,而况产能和工艺齐顺利竣事了升级,但是他们很快就需要濒临第二次挑战。
由于收罗经济泡沫禁绝和“9.11”事件的影响,2001年寰球半导体市集大幅着落,寰球前十大集成电路供应商销售额平均下降32%。
存储芯片是半导体市蚁集弘扬最差的居品:2001年存储芯片平均价钱下降了90%,128M存储芯片的单价由2000年 9月的 18好意思元降至2001年11月的0.99好意思元!
寰球存储芯片坐褥企业全部严重蚀本,代工企业产能讹诈率均严重不及,各跨国公司的半导体坐褥线纷繁停产、半停产。
华虹NEC的中枢居品等于存储芯片(DRAM),诚然NEC保证了华虹NEC的开工率,但是华虹NEC在2001年的蚀本仍然达到了13.84亿元。
本体上此时的NEC泥菩萨过江。在韩国企业的冲击之下,日本的富士通、三菱和东芝等公司破除了DRAM芯片的制造,NEC和日立也将其DRAM芯片业务剥离出去成立了尔必达,尔必达成为日本鲁殿灵光的DRAM芯片坐褥企业。
NEC 半导体业务的多数蚀本和计策调度,不可能不合华虹NEC产生影响。诚然 NEC 方面恒久为华虹NEC 满负荷坐褥极尽致力于,所给的加工价钱也高于国际市集,但许多时候已显牛逼不从心。
华虹NEC起头的居品策略是以存储芯片起步,取舍适适时机转入逻辑居品坐褥。存储芯片市集的涟漪和华虹NEC的蚀本使得华虹的居品定位不得不作念出提前的调度。
华虹NEC再也弗成把居品、销售、期间、市集全部奉求在NEC身上。
对“909”工程来说,2001年存储芯片市集的波动既是赖事亦然善事,它是一个机会,促使华虹NEC的贬责层从NEC包产包销的存储器订单中清醒过来,下定决心从单一的存储器坐褥向天真实代工转型。
2002年3月华虹NEC公司组建代工部并运转运作,从好意思国引进了方一又、赖磊对等期间众人负责华虹NEC的代工转型责任。
到2003年,华虹NEC照旧与包括大唐、华大、南华虹、北华虹、士兰、中兴通信等国内闻明系统厂商和假想公司建立了计策合营伙伴关系,成立了国内代工市集占有率第一的地位,在很猛进程上竣事了当初“909”管事国内市集的盘算。
“909”工程借助 NEC从存储芯片起步,初步学习和掌抓了8英寸芯片坐褥线贬责和运营的门径,培养了一支东说念主才队伍。
在存储芯片市集低迷的时候,“909”浮松转型,鼎力发展代工业务,转入利润比较有保险、对国内电子信息产业鼓励作用更大的芯片代工行业。
与此同期,华虹也趁便从NEC手中拿回了筹办自主权。
在中方和NEC订立的合同中,也曾商定NEC保证结伙企业5年收回投资,在前5年中日方掌抓结伙企业的筹办。
由于2001年寰球存储芯片市集的距离波动以及NEC自身业务的调度,此时NEC照旧无法保证结伙企业5年收回投资。
谈判到NEC对结伙企业的广漠匡助,2003年8月信过谈判,中日两边选拔友好协商的神志提前从NEC收回了华虹NEC的筹办权。
华虹自主开发先进工艺
“909”以比较合理的条目和NEC达成合营,结伙建成了国内第一条0.35微米8英寸大规模集成电路坐褥线,拿到了一张国际半导体俱乐部的入场券。
但这张入场券能拿多久还要看咱们能否跟上寰球半导体产业期间升级的设施,看咱们到底能弗成领有自主的学问产权。
“六五”期间我国引进了5微米双极坐褥工艺期间,“七五”期间引进了3~2微米坐褥期间,“八五”期间引进0.8~1微米期间,到了“九五”期间发展0.5~0.35 微米期间,仍然要靠引进。
要扫尾中国集成电路产业代代引进、代代过时的被迫场面,就必须发展咱们自主的工艺开发才略,这是中国半导体产业几代东说念主的宿愿,亦然“909”工程的热切盘算。
华虹NEC顺利投产后,以胡启立为代表的华虹NEC贬责者们便将盘算转向了先进工艺的自主开发,而且刚巧得到了一个很好的机会。
比利时IMEC是欧洲一家微电子征询中心,除了政府资助除外其资金主要来自与企业合营的工艺研发技俩。其时IMEC正在拓展中国市集,对与华虹的合营至极感兴味,称心以期间合营的神志,匡助华虹开发0.25微米和0.18微米的圭臬CMOS工艺期间,合同总价1200万好意思元。
经过谈判,华虹集团与IMEC在2000年达成契约,两边以期间合营的神志共同开发0.18微米全套工艺以及0.13微米要害工艺模块。IMEC原意华虹每年派出10东说念主,共4年在IMEC参与共同开发,临了培养出 40东说念主次的工艺研发队伍。
事实证实,这些“种子”不负众望,不但生根发芽,还结出了累累硕果。
2001年,华虹集团派出首批赴IMEC进行合营研发和培训东说念主员参与0.18 微米扫数工艺经过的开发。华虹工程师的才略在IMEC得到认可,承担了越来越多的责任,从单项工艺开发到器件的调度,从工艺的坐褥化蜕变到新工艺条目的开发齐交给华虹的工程师完成。
通过合营开发,华虹工程师的工艺研发才略得到了晋升,初步掌抓了工艺研发的门径。两三年后他们就带回了IMEC0.18微米期间整套工艺府上及0.25微米期间后说念5层铝布线工艺府上,使得华虹集团基本具备开发本身的0.18/0.25 微米工艺期间的才略。
和IMEC第一期合营的效果超乎本身的预念念,华虹决定深化与IMEC的合营。
2001年10月,华虹与IMEC订立奉行进一步计策合营的备忘录,链接共同开发0.10微米及更高档的先进工艺期间。
在随后的三年中,华虹又向IMEC陆续派出了三批队伍。2004年2月,IMEC按照工业界圭臬再行假想了0.13 微米和0.09微米的工艺期间研发平台,华虹的工程师参与大部分要害期间的研发责任。
华虹集团与IMEC的合营是一种告捷的尝试,华虹不仅得回了从0.25~0.13微米的自主CMOS工艺期间,而且代价远低于成例的期间引进神志。
更热切的事华虹通过4年的合营还得到一支可不雅的具有大坐褥工艺期间开发才略的期间团队,酿成了自主工艺开发才略。
其后华虹集团引进新的计策合营伙伴好意思国JAZZ公司,好意思国公司之是以很纷扰地把0.18微米的期间转让给咱们,也恰是因为他们至极明晰地了解咱们照旧和行将领有的自主学问产权开发才略。
2002年华虹NEC运转转型芯片代工,借此机会IMEC 回国期间东说念主员运转参加华虹 NEC 的坐褥线,配合代工转型责任开展工艺研发责任。
华虹NEC坐褥线是一条以坐褥存储芯片为主的专科坐褥线,要转型为圭臬逻辑工艺的代工坐褥线期间难度很大,需要在现存引诱的基础上,再行开发圭臬COMS工艺期间,以得当代工的要求,而IMEC回国工程师团队的Know-how 和学问履历在其中施展了很大作用。
2002年10月,IMEC回国工程师中的3位起头参加华虹NEC的坐褥线,匡助其作念0.35 微米代工工艺的开发。他们在短期内就优化了工艺经过和参数,使得第一批样品制品率达到75%,华虹的转型迈出了告捷的第一步。
2003年华虹NEC完成了0.25微米圭臬工艺的自主开发,4月初完成了测试芯片SRAMP的流片,良品率高达70%,并于年底竣事量产。这是我国首家在8英寸坐褥线上领有自主学问产权的全套0.25 微米代工工艺期间。
此外通过在坐褥线上增添部分引诱,华虹NEC建立了0.18微米工艺模块,基本酿成完好意思的0.18微米工艺,2004年0.18微米工艺大坐褥期间竣事量产。
华虹告捷转型为芯片代工企业,而况逐步发展成为寰球闻明的芯片代工企业。
怎样评价“909工程”的建造遵守?
“909工程”取得的成等于广漠的:
1、华虹NEC用了不到100亿东说念主民币的投资在轨则的时刻内建成了中国第一条8英寸坐褥线,工艺水平达到0.35微米,权贵减轻了中国集成电路产业与国外先进水平的差距。
2、通过华虹NEC的建造培养了一批芯片产业的期间东说念主才和运营贬责东说念主才。
在建造华虹NEC以前,国内基本上莫得8英寸坐褥线假想、建造和运营等各方面的东说念主才,通过华虹NEC的建成,国内集成电路产业具备了清静建造8英寸坐褥线的才略,这是“909工程”的遵守之一。
3、中国集成电路工艺发展得回了不竭发展的平台。
华虹NEC不仅引进了NEC0.35/0.24微米的工艺期间,而且通过与欧洲研发机构的合营研发了0.18微米的工艺期间。
尔后华虹NEC链接保持研发,集成电路的工艺水平不竭越过,“909工程”的建造使得中国集成电路产业得到了一个不错不竭升级产业期间的平台。
4、华虹NEC的告捷转型象征着中国集成电路产业期间才略的发展
华虹NEC最早引进的是NEC的DRAM(动态飞快存储器)的坐褥期间,但是在2001年的产业波动中NEC泥菩萨过江,并最终剥离了存储器业务。
在这种布景下,华虹NEC充分讹诈自身照旧酿成的期间才略和坐褥引诱,自主招聘期间东说念主才告捷转型芯片代工并取得了告捷。2023年华虹集团在寰球芯片代工市蚁集的名次位居第六,在国内的市集份额仅次于中芯国际位居第二。
诚然华虹集团的市集份额与名秩序一的台积电仍有广漠差距,但是比较2000年有广漠的晋升,这在竞争浓烈的芯片代工市蚁集十分不易。
“909工程”是90年代末在我国集成电路产业相称过时、资金实力十分弱小的布景下,由政府主导,磋商力量办大事建成的中国第一条8英寸集成电路坐褥线。
“909工程”不仅达到了预定盘算,而且后期的发展远远高出了起头的盘算,华虹集团也发展成为中国集成电路产业的热切构成部分。
但咱们也要知道的意志到中国集成电路产业与外洋先进水平的差距仍然十分广漠,咱们仍需链接致力于。
参考府上:
1、《集成电路产业50年回眸》
2、《中国集成电路产业黄金十年》
自拍3、《亲历中国半导体产业的发展》
4、《集成电路产业全书》
5、《芯路历程——超大规模集成电路工程纪实》
6、《我心热潮:华虹520精神》双飞 姐妹花